Создана новая модификация лазерного интерферометра Физо (рис.
1, а), в котором синтезированная голограмма (4) выполняет функцию
пробного оптического стекла, благодаря чему устранены принципиальные ограничения
точности измерения из-за искажений, вносимых подложкой голограммы. Впервые
предложено объединить в виде одной комбинированной голограммы (4) два
оптических элемента: голограмму опорной поверхности и голограмму исследуемой
оптической поверхности (5). На рис. 1, б показана профилограмма
центральной части изготовленной голограммы, которая состоит из линейной
отражающей решетки, наложенной на внеосевую (φ=0,25°) рельефную зонную
пластинку. Типичная интерферограмма проверяемой поверхности (образцовое
сферическое зеркало f/1,5) приведена на рис. 1, в (благодаря
использованию внеосевой схемы полностью исключены блики и паразитные
дифракционные порядки).
 Рис. 1. Лазерный интерферометр с синтезированной голограммой в качестве эталона Физо.
Лазерный интерферометр запущен в опытную эксплуатацию на предприятии г. Новосибирска для контроля формы оптических зеркал диаметром до 300 мм и обеспечивает измерения с погрешностью менее 30 нм; защищен патентом РФ.
|
