С 3 по 7 октября 2005 года состоится Международная
конференция «Микро- и наноэлектроника – 2005» (ICMNE-2005) в подмосковном
пансионате «Липки», г. Звенигород. Эта конференция продолжает ряд конференций
проводившихся ранее: “МНЭ-1999”, “МНЭ-2001”, "КИ-2002", “ICMNE-2003” и
"QI-2004". Российская конференция, в последние два года ставшая Международной
конференцией SPIE, включает в себя все сферы микро- и наноэлектронных
технологий, физики и приборов. Главной целью ICMNE является представление
современных достижений в этой области на обсуждение научной общественности.
Конференция будет включать в себя выставку микро- и наноэлектронного
оборудования и приборов при участии московского представительства фирмы SEMI® .
Организаторы и спонсоры конференции:
Министерство промышленности, науки и технологий РФ. Управление
информационных технологий.
Российская академия наук (РАН). Отделение информационных технологий и
вычислительных систем. Научный совет «Развитие микро- и наноэлектронных
технологий и приборов, твердотельные кубиты».
Тихоокеанская академия материалов.
Физико-технологический институт РАН (ФТИАН), Москва, Россия.
Российское отделение SPIE
Московский государственный университет им. Ломоносова (МГУ), Россия.
Образовательно-научный центр "МГУ-ФТИАН".
Фраунгоферовский институт интегральных систем и развития технологии,
Эрланген, ФРГ.
Институт физики полупроводников РАН, Сибирское отделение, Новосибирск,
Россия.
Московский институт электронных технологий (ТУ МИЭТ), Зеленоград, Россия.
Zeiss & Leo
NT-MDT, Co
FEI Company
SEMI (Москва)
Компания НИКС
Язык:
Официальный язык – Английский
Представление материалов для публикации:
Вы можете скачать шаблон тезисов доклада (1 стр.) и требования к манускрипту
полного текста доклада для публикации в Proccedings of SPIE в разделе
"Файлы". Как тезисы, так и
полные тексты публикуются на английском языке.
Файлы тезисов докладов направлять по адресу icmne2005@ftian.oivta.ru.
Порядок публикации:
Представленные на конференцию «ICMNE – 2005» одностраничные тезисы доклада
будут опубликованы в виде брошюры до начала конференции. Полный текст доклада
представляется автором по прибытии на конференцию в электронном виде и в твердой
копии (1 экз).
SPIE (http://www.spie.org)
публикует полные тексты докладов в виде трудов конференции после проведения
ICMNE-2005. Публикуются только те доклады, которые были представлены и обсуждены
на конференции.
Предпочтительная тематика докладов:
- Материалы для микро- и наноэлектроники. Кремний на изоляторе.
- Микро- и наноэлектронные технологии и оборудование.
- Суб-100нм литография: ГУФ, ЭУФ, электронная и ионная литография, импринт.
Квантовая литография.
- Плазменные процессы.
- Имплантация.
- Эпитаксиальный рост. МВЕ. Планаризация.
- Мониторинг технологических процессов и детектирование момента их окончания
в микро- и нанотехнологиях.
- Метрология и характеристика микро- и наностркутур.
- Моделирование технологических процессов и микро- и наноэлектронных
приборов.
- Развитие микро и наноэлектронных приборов. Нанотранзисторы: МДП,
одноэлектронные. Память и логические схемы на квантовых точках.
- Магнитные микро- и наноструктуры. Наномагнетики.
- Молекулярная наноэлектроника. Микро- и наномеханика.
Представление на конференцию статей приветствуются как из академического
мира, так и из промышленности. Около 80 докладов будут выбраны в виде устных.
Все остальные будут представлены в виде постеров. Программа конференции будет
включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в
каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако
пожелания авторов конечно будут учтены. Одностраничные тезисы докладов должны
содержать оригинальные научные результаты (не обзоры уже выполненных работ).
|