«Наука в Сибири» В МИРЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИКИОдин из наиболее динамично развивающихся секторов современной микроэлектроники микроэлектромеханические системы (МЭМС). Основной задачей микроэлектромеханики является создание не имеющих аналогов микромеханических конструкций широкого назначения. Направление базируется на достижениях современных микроэлектронных технологий, наследуя основные достоинства электронных микросхем низкую стоимость, высокую надежность и воспроизводимость характеристик, крупные масштабы возможного практического применения.
Основной элемент указанных систем электромеханический преобразователь энергии. Среди различных физических принципов, на которых могут базироваться такие преобразователи, электромагнитные, пьезоэлектрические, электростатические. Предпочтение отдается последним как наиболее технологичным. Электростатические микродвигатели относятся к классу емкостных машин, наиболее важный параметр которых удельная емкость в межэлектродном зазоре, и, соответственно, удельная энергоемкость. Технология глубокого травления кремния позволяет создавать достаточно малые зазоры, порядка 2 мкм, что обеспечивает значение удельной энергоемкости до 0.01 Дж/м2 и силы тяги до 10-710-6 ньютонов. Однако для ряда важных практических задач такие параметры недостаточны, и перед разработчиками МЭМС постоянно стоит задача увеличения указанных параметров. На предстоящей расширенной Научной сессии Президиума СО РАН (22 декабря) будет представлен доклад «Микроэлектромеханические высокоэнергоемкие преобразователи энергии на нанометровых зазорах». В нем рассматривается новый принцип электромеханического преобразования энергии, позволяющий значительно увеличить удельную энергоемкость, быстродействие и мощность МЭМС. Суть этого принципа заключается в том, что указанное преобразование энергии осуществляется в нанометровом зазоре 5-50 нм, когда имеет место трансформация электрической энергии, накапливаемой в процессе обратимого электростатического прижатия металлической пленки к поверхности тонкого кристаллического диэлектрика с большим значением диэлектрической проницаемости, более 2000-5000 сегнетоэлектрика. Натяжение этой пленки преобразуется в механическое движение подвижного элемента устройства. Такой подход позволяет достигать величины удельной энергоемкости 0,3-1 Дж/м2 и сил тяги 0,01 и более ньютонов в первые микросекунды действия импульсов напряжения. Описываются характеристики экспериментальных микроэлектромеханических устройств, построенных на основе указанного принципа, демонстрирующие высокую энергоемкость и быстродействие таких устройств и перспективы их широкого практического применения. Фото В. Новикова стр. 1 |