Сроки выполнения разработки (год начала - год окончания):

Головная организация-разработчик:

Институт физики полупроводников (ИФП) СО РАН (г.Новосибирск).
Контактный телефон: (3832) 35-42-50;
факс: (3832) 35-42-65;
e-mail: help-1@isph.nsk.su.

Организация-заказчик:

АО "Микрон" (г.Москва).
Контактный телефон: 536-82-03;

АО "НИИ Точных технологий" (г.Москва).
Контактный телефон: 532-86-86.

Предприятия-производители:

ИФП СО РАН (г.Новосибирск).
Контактный телефон: (3832) 35-42-56;

фирма "Жобен Ивон" (г.Париж, Франция).

Краткая содержательная характеристика разработки:

Первый отечественный автоматический сканирующий эллипсометр высокого пространственного разрешения (запатентованная высокочувствительная балансная измерительная схема, оригинальная методика проведения измерения параметров микрообъектов, прецизионный двухкоординатный сканирующий столик и др.). Эллипсометр разработан тем же коллективом авторов, который создал лазерный эллипсометр ЛЭФ-3М, выпущенный серийно в кол. более 300 шт.

Степень готовности (завершение эксперимента, проведение испытания опытного образца, выпуск опытной серии и т.п.):

Разработан полный комплект конструкторской документации. Изготовлен и испытан действующий макетный образец прибора.
Цель проекта: доработка КД, изготовление опытного образца, организация серийного производства.

Наличие необходимой инфраструктуры, производственных мощностей:

Необходимая инфраструктура имеется; для снижения себестоимости при произодстве прибора в ИФП СО РАН требуется модернизация станочного парка.

Ожидаемые результаты:

Полное обеспечение рынка России и СНГ эллипсометрическим оборудованием (более 100 приборов в год). Поставка приборов на экспорт через французского партнера (более 50 приборов в год - французской стороной предварительно проведены маркетинговые исследования рынка сбыта).

Оценка основных характеристик разработки, обеспечивающих конкурентоспособность.

• Научно-технический уровень:
  
  1. По отношению к лучшим отечественным образцам:
     

     По сравнению с выпускающимся эллипсометром ЛЭФ-3М-1 (ИФП СО РАН), автоматический эллипсометр "Микроскан" является принципиально новым прибором, созданным на основе последних достижений оптики, точной механики, микропроцессорной и вычислительной техники: производительность измерений возросла в 300 раз, пространственное разрешение повышено в 100 раз, металлоёмкость уменьшена в 2 раза.

  2. По отношению к лучшим мировым образцам:
     

     По своим техническим параметрам эллипсометр находится на научно-техническом уровне лучших зарубежных аналогов: эллипсометров моделей L 1158-36 Waferscan фирмы "Gaertner" (США), SD 2000 фирмы PLASMOS Gmbx (Германия), Auto EL II, III фирмы Rudolf (США) и др.

• Экологичность:
  

  Производство является экологически чистым.

• Экономические показатели (оценочные):
  
  1. Требуемый объем инвестиций: 0.4 млн. USD.
  2. Потенциальный объем продаж: 4.5 млн. USD.
  3. Наличие конкретных потребителей:
     

     Микроэлектронная,
     полупроводниковая,
     оптическая,
     химическая,
     биотехнологическая,
     медицинская,
     фармакологическая и др. отрасли промышленности а также экология,
     криминалистика,
     метеорология и наука.

  4. Срок окупаемости проекта: 2 года.

Область применения разработки (наименование и двузначные коды позиций ОКДП - Общероссийского классификатора видов экономической деятельности, продукции и услуг код ОКДП-ОК):

33 - производство приборов.

Наличие бизнес-плана по реализации разработки

Подразделение Миннауки и СО РАН, давшие предложение, контактные телефоны:

Управление высоких технологий и научно-технического прогресса в информатике, приборостроении и конверсии.
Контактный телефон: 229-78-89;

Управление организации научных исследований.
Контактный телефон: (3832) 35-05-63.