Сибирское отделение
Российской Академии Наук


Технология изготовления бездислокационных структур "кремний-на-пористом кремнии" для изделий электронной техники нового поколения.

(Условное сокращенное наименование: "МЛЭ КНПК-ТЕХНОЛОГИЯ")


  1. Сроки выполнения разработки (год начала - год окончания):
  2. 1991 - 1994.

  3. Головная организация-разработчик:
  4. Институт физики полупроводников (ИФП) СО РАН (г.Новосибирск).
    Контактный телефон: (3832) 35-42-55;
    факс: (3832) 35-42-65;
    e-mail: help-1@isph.nsk.su.

  5. Организация-заказчик:
  6. НПП НЗПП с ОКБ (г.Новосибирск).
    Контактный телефон: (3832) 28-90-71.

  7. Предприятия-производители:
  8. ИФП СО РАН (г.Новосибирск).
    Контактный телефон: (3832) 35-42-55.

  9. Краткая содержательная характеристика разработки:
  10. Бездислокационные пленки кремния толщиной от 50нм до 1мкм с легированием донорной и акцепторной примесями на пластинах Si диаметром 76 и 100 мм с подслоем пористого кремния (пористость 35-75%) толщиной 1-10 мкм. Предназначены для производства радиационностойких и быстродействующих изделий микроэлектроники на базе КМОП и БиКМОП КНИ ИС.
    Цель проекта - разработка промышленной технологии и организация мелкосерийного производства КНПК структур (не менее 10000 пластин в год).

  11. Степень готовности (завершение эксперимента, проведение испытания опытного образца, выпуск опытной серии и т.п.):
  12. Разработана лабораторная технология. Изготовлена опытная партия КНПК структур (12 шт.).

  13. Наличие необходимой инфраструктуры, производственных мощностей:
  14. Необходимая инфраструктура и полупромышленная установка МЛЭ имеется; для повышения качества и увеличения объемов производства КНПК структур требуется закончить отделку и оборудовать "чистые комнаты", а также изготовить (приобрести) установку молекулярно-лучевой эпитаксии с газовыми источниками.

  15. Ожидаемые результаты:
  16. Обеспечение предприятий-производителей изделий электронной техники высококачественными структурами. Предполагаются экспортные поставки КНПК структур и продажа МЛЭ КНПК-ТЕХНОЛОГИИ.

  17. Оценка основных характеристик разработки, обеспечивающих конкурентоспособность.
  18. Область применения разработки (наименование и двузначные коды позиций ОКДП - Общероссийского классификатора видов экономической деятельности, продукции и услуг код ОКДП-ОК):
  19. 32 - Производство оборудования и аппартуры для телевидения и радиосвязи.

  20. Наличие бизнес-плана по реализации разработки
  21. - имеется.

  22. Подразделение Миннауки и СО РАН, давшие предложение, контактные телефоны:
  23. Управление высоких технологий и научно-технического прогресса в информатике, приборостроении и конверсии.
    Контактный телефон: 229-78-89;

    Управление организации научных исследований.
    Контактный телефон: (383-2) 35-05-63.


[Home Page] [Russian Home Page] [В начало Обзора] [В начало Раздела]
Webmaster
www@www-sbras.nsc.ru

© 1996, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Novosibirsk